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Veritas鎢燈絲掃描電鏡系列
2020/07/28
Veritas系列保持EM科特電子顯微鏡的高性能高效率，大樣品倉(cāng)內(nèi)含多功能電動(dòng)樣品臺(tái)，可更輕松地測(cè)量大尺寸樣品。
EM科特Veritas系列產(chǎn)品技術(shù)亮點(diǎn)：
l大尺寸樣品分析 Veritas系列可以分析常規(guī)SEM無(wú)法分析的大尺寸樣品。例如：晶圓，磁盤(pán)
l無(wú)損樣品分析 無(wú)需切割即可分析樣品。例如PCB，半導(dǎo)體圖案分析
l較重樣品分析 能夠分析較重的樣品。例如巖石，鐵礦石
技術(shù)指標(biāo)：
分辨率 | 2nm |
放大倍數(shù) | x10-x300000 |
電子槍 | LaB6/CeB6 |
探測(cè)器 | 二次電子探測(cè)器、背散射探測(cè)器 |
真空系統(tǒng) | 全自動(dòng)真空系統(tǒng)（＜90s） |
顯示模式 | 聚焦模式 預(yù)覽模式 |
自動(dòng)功能 | 聚焦 |